インフィニオン テクノロジーズ社のMEMSマイクロフォンIM69D130とその評価/開発キットをご紹介します。

　

　MEMSマイクロフォンは、エレクトレットコンデンサマイクに比べると耐熱性に優れており、リフロー実装が可能で、信頼性の向上やコストダウンに有利です。MEMSマイクロフォンの動作原理は、音圧により薄い膜(メンブレン)を振動させ、このときの容量変化を電気信号に変換します。この電気信号を後段のアンプで増幅してアナログ出力またはA/D変換を行ってデジタルで出力します。

　インフィニオン社のデュアルバックプレートMEMS技術は、2枚のバックプレート(背面電極)に埋め込まれたメンブレンを使用し、高精度で差分信号を取り出します。これによりアコースティックオーバーロードポイント(AOP)が135dB SPL(音圧レベル)に向上し、優れた音声信号にすることが可能になりました。AOPは、音声と雑音を区別できなくなる音圧レベルです。

　SN比は69dBで、従来のMEMSマイクに比べると6dBほど改善されています。これは、マイクまでの距離を2倍にするのと同程度の改善になるということです。また、感度マッチングは±1dB、位相マッチングは±2度とマイク間のマッチングも優れており、スマートホンやスマートスピーカーなどのマイクアレイとして実装する際にも有効です。そのほか、高精度のビームフォーミングやノイズキャンセラにも応用できます。デジタルマイクASICには低ノイズプリアンプとシグマデルタ型A/Dコンバータが搭載されており、アナログ信号をPDM(Pulse Density Modulation)信号に変換して出力します。

XENSIV™ MEMSマイクフレックス評価キット
　XENSIV™ MEMSマイクフレックス評価キットは、IM69D130を搭載した5個のフレックスボードと1個のアダプターボードで構成されています。この評価キットを使用すると、最小限の作業でIM69D130を評価することができます。小さなサイズと柔軟性により、フレックスボードをプロトタイプなどに直接組み込むことができます。

　

XENSIV™ MEMSマイクフレックス評価キット 【EVALIM69D130FLEXKITTOBO1】