マルツTOP > 村田製作所特設ページ > MEMS加速度センサとMEMS傾斜センサで、構造物の健全性をモニタリングする

建築構造物は、地震、雪崩、交通、建設工事、積雪などにより、目立たない損傷を引き起こすことがあります。 これらの損傷を早期に発見するために、構造ヘルスモニタリング（SHM：Structual Health Monitoring）という技術が世界的に注目されています。

構造ヘルスモニタリングとは、構造物に加速度センサや傾斜センサなどを設置し、構造物の振動を測定することで構造性能を診断する技術です。 この技術を使用すると、建物、橋梁、トンネルなどの構造物の主要な部分の故障を検出したり、潜在的な問題をより早く認識することができます。

構造ヘルスモニタリングシステムを構築するための要素技術には、振動や歪みを検知するセンサ、取得したデータを管理するデータマネジメント、取得したデータから建物の状態を推定する診断技術、取得したデータの可視化、などがあります。 その中でも、最適な消費電力で精度の高い測定を行うセンサは必要不可欠です。また、センサには装置を取り付ける環境や長期の運用に耐えるための高い信頼性が要求されます。

村田製作所のMEMS加速度センサSCA3100/3300シリーズ、MEMS傾斜センサSCA100T/103Tシリーズは、広い温度範囲、高度な耐衝撃性を備えており、橋梁、トンネルなどの屋外建造物に設置するのに適しています。 また、これらのセンサは、高精度かつ広帯域な温度、湿度、振動状態において安定した出力を行うことができます。

SCA100T/103Tシリーズ

　SCA100T/103Tシリーズは、厳しい環境条件で高安定性が求められる用途に適しています。SCA100Tシリーズは2軸計測用、SCA103Tシリーズは高精度1軸計測用です。
　ムラタの傾斜センサは、自動車市場で実績のある3D MEMSテクノロジーおよび独自デザインされたデジタルASICを基本にしています。
　傾斜センサには強力な故障検知機能、すなわちデジタル自己診断機能、メモリパリティチェック、接続故障検知機能が備わっています。これらの機能により、計測結果の信頼性と精度が確保されます。
　

 SCA100T-D01の主な仕様
●出力方式： Analog/SPI
●電源電圧： 5V
●測定軸： 2軸傾斜
●検出範囲： ±0.5g±30°
●帯域幅： 18Hz
●オフセット温度特性： ±0.86°
●感度： 4V/G
●寸法: 11.31×5.08×15.58mm (幅×高さ×長さ)
●ノイズ密度: 14 μg/√Hz
●分解能: 0.0025° (帯域幅10Hz、アナログ出力)
●オフセット温度依存性: (-25〜85°C) ±0.008 °/°C
●RoHS準拠、鉛フリー

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 SCA100T-D02の主な仕様
●出力方式： Analog/SPI
●電源電圧： 5V
●測定軸： 2軸傾斜
●検出範囲： ±1g±90°
●帯域幅： 18Hz
●オフセット温度特性： ±0.86°
●感度： 2V/G
●寸法: 11.31×5.08×15.58mm (幅×高さ×長さ)
●ノイズ密度: 14 μg/√Hz
●分解能: 0.0025° (帯域幅10Hz、アナログ出力)
●オフセット温度依存性: (-25〜85°C) ±0.008 °/°C
●RoHS準拠、鉛フリー

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 SCA103T-D04の主な仕様
●出力方式： Analog/SPI
●電源電圧： 5V
●測定軸： 1軸傾斜
●検出範囲： ±0.26g±15°
●帯域幅： 18Hz
●オフセット温度特性： ±0.29°
●感度： 16V/G
●寸法: 11.31×15.58×5.08mm (幅×長さ×高さ)
●ノイズ密度: 7 μg/√Hz
●分解能: -0.001° (帯域幅10Hz、アナログ出力)
●オフセット温度依存性: (-25〜85°C) ±0.002 °/°C
●RoHS準拠、鉛フリー

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SCA3100/3300シリーズ

　SCA3100/3300シリーズは、厳しい環境条件で高安定性が求められる用途に適しています。
　ムラタの加速度センサは、定評ある堅牢なシリコン容量型3D MEMSテクノロジーを基本にしています。センシングエレメントとASICはシリコンゲルでシールされ、高湿環境および温度変化に対して高度の性能と信頼性を発揮します。
　加速度センサには、高度な故障検知機能があり、その内容はデジタル起動の自己診断、校正メモリーのパリティまたはチェックサムチェック、ならびに常時故障検知機能です。
　

  SCA3100-D04の主な仕様
●出力方式： SPI
●電源電圧： 3.3V
●測定軸： 3軸加速度
●検出範囲： ±2g
●帯域幅： 45Hz
●オフセット温度特性： ±30mg
●寸法: 7.0×8.6×3.3mm (幅×長さ×高さ)
●RoHS準拠、鉛フリー

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SCA3100-D07の主な仕様
●出力方式： SPI
●電源電圧： 3.3V
●測定軸： 3軸加速度
●検出範囲： ±6gv 
●帯域幅： 45Hz
●オフセット温度特性： ±70mg
●寸法: 7.0×8.6×3.3mm (幅×長さ×高さ)
●RoHS準拠、鉛フリー

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  SCA3300の主な仕様
●出力方式： SPI
●電源電圧： 3.3V
●測定軸： 3軸加速度
●検出範囲： ±1.5g, ±3g, ±6g
●帯域幅： 10Hz / 88Hz
●オフセット温度特性： ±15mg
●寸法: 7.6×8.6×3.3mm (幅×長さ×高さ)
●使用温度範囲：-40〜125℃
●RoHS準拠、鉛フリー

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