MEMS圧力センサ素子

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MEMS圧力センサ素子
TDKの圧力センサ素子は、高感度と非常に小さな寸法を組み合わせて、小型圧力センサ設計を実現

　TDK Corporationは、0mbar～100mbarの範囲を測定するように設計されたC35タイプの圧力センサ素子を提供しています。高感度とわずか2.05mm×2.05mm×1.2mmの非常に低い寸法を組み合わせて、小型圧力センサの設計を可能にします。

　この圧力センサ素子は、ホイートストンブリッジを介してピエゾ抵抗原理に従って動作し、最大10Vの動作電圧で認定されています。110mV/V/barの高感度を提供するC35は、感度、精度、0.1% FSONの長期安定性が要求されるアプリケーションに最適です。さらに、C35は－40℃～＋150℃までの広い温度範囲用に設計されており、非刺激性ガスや液体の圧力測定に適しています。主な用途は、医療工学や産業および自動車セクタなどの高い信頼性と極めて正確な圧力測定を必要とするアプリケーションです。

特長

- ●測定範囲：0mbar～100mbar
  ●高感度：110mV/V/bar
  ●高い長期安定性(LTSV0)：0.1% FSON
  ●超小型：2.05mm×2.05mm×1.2mm
  ●広い温度範囲：－40℃～＋150℃

応用

- ●主な応用分野
  ●医療エンジニアリング
  ●産業および自動車セクタ

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